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高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持：CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク：250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモータ仕様旋回 ■上下軸：サーボモータ仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット
『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット
『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイプACサーボモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。
ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 ３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエハ搬送用に適しています。装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプを選択することができ、動作モニターを装備しています。４軸水平多関節型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300ｍｍ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付２相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
